品番(型式) | 品名 | 仕様 |
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LGVSA-00000-000-0 | バキュームプレート(ATCP ステージ用)、ATCP用(菱形穴) | 片面、穴無し、22.0t(吸着パッド24個) |
LGVSA-00000-000-1 | バキュームプレート(ATCP ステージ用)、ATCP用(菱形/一部の仕様は長方形穴と共通) | 片面、穴無し、22.0t(吸着パッド32個) |
LGVSA-00000-000-1A | バキュームプレート(ATCP ステージ用)、ATCP用(長方形穴用) | 片面、穴無し、22.0t(吸着パッド17個が周囲にある) |
LGVSA-00000-000-2 | バキュームプレート(ATCP ステージ用)、ATCP用(長方形穴,LGTM-3968用) | 片面、穴無し、22.0t(吸着パッド17個が周囲にある) |
LGVSA-00416-150-1 | バキュームプレート(ATCP ステージ用)、ATCP用(JIGプレート用) | 取得数416(吸着穴)ψ1.5mm、22.0t(吸着パッド17個) |
LGVSA-01030-120-0 | バキュームプレート(ATCP ステージ用)、ATCP用 | 取得数1030 ◇1.20-23.3t(1.3mm-浮き出る部分を含む) |
LGVSA-03220-030060-1 | バキュームプレート(ATCP ステージ用)、ATCP用 | 取得数3220、長方形凸状もの0.6*0.3-22.25t(0.25mm-浮き出る部分を含む) |
LGVSA-03220-030065-1 | バキュームプレート(ATCP ステージ用)、ATCP用 | 取得数3220、長方形凸状もの0.65*0.3-22.25t(0.15mm-浮き出る部分を含む) |
LGVSA-03220-050-0 | バキュームプレート(ATCP ステージ用)、ATCP用 | 取得数3220 ◇0.5-22.25t(0.25mm-浮き出る部分を含む) |
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